Kierownik: dr hab. inż. Rafał Walczak, prof. PWr

Członkowie: dr inż. Paweł Knapkiewicz , dr inż. Wojciech Kubicki , dr hab. inż. Anna Górecka-Drzazga, prof. PWr , dr hab. inż. Rafał Walczak, prof. PWr , prof. dr hab. inż. Jan Dziuban

Domena: Wyposażone jest między innymi w linię technologiczną do wytwarzania mikrosystemów ze szkła, krzemu i polimerów, w tym:

stanowiska do wielowarstwowego bondingu anodowego krzemu i szkła,

stanowisko do bondingu fuzyjnego,

stanowisko do plazmowej obróbki mikroinżynieryjnej cienkich warstw,

stanowisko do fotolitografii,

drukarkę 3D do prototypizacji i wytwarzania mikrostruktur,

stanowisko chemiczne do przygotowywania i trawienia podłoży krzemowych i szklanych,

stanowiska do testów optycznych i biochemicznych mikrosystemów analitycznych,

stanowisko do symulacji komputerowych struktur MEMS (COMSOL).

Słowa kluczowe: emisja elektronów, lab-on-a-chip, lab-chip, biochip, mikrosystemy próżniowe, mikrosystem analityczny, mikrosystemy analityczne, mikrosystem krzemowy, mikrosystem, mikrosystem przepływowy, mikrosystem krzemowo-szklany, mikrosystem optyczny, mikrofluidyczny chip, mikrofluidyka, chip mikrofluidyczny, chipy mikrofluidyczne, chip krzemowo-szklany, chip, mikrochip, mikroinżynieria szkła, mikroinżynieria, mikroinżynieria krzemu, mikromechanizm, mikromechanika krzemowa, mikromechanika, mikrosensor, mikroreaktory, mikroreaktory chemiczne, mikroreaktor, optyczne metody pomiarowe, optyczne właściwości, litografia optyczna, fotorezyst, mikromieszalnik, trawienie Si w roztworach alkalicznych, trawienie chemiczne krzemu, trawienie szkla, trawienie RIE, aktuatory, trawienie mikrofalowe, bonding anodowy krzemu, bonding fuzyjny, bonding anodowy Si-SiO2, bonding anodowy, bonding, bonding szkła, bonding fuzyjny szkło-szkło, bonding krzemowy, fotolitografia, mikrostruktury, mikrostruktura materiału, podłoże krzemowe, MEMS, MEMS (Micro-Electro Mechanical Sensors), struktury MEMS, lab-on-chip, analiza DNA, PCR, PCR czasu rzeczywistego, próżnia wysoka